MEMS(微机电系统)就是在一个硅基板上集成了机械和电子元器件的微小机构。在代工厂中,通过对电子部分使用半导体工艺和对机械部分使用微机械工艺将其或者直接蚀刻到一片晶圆中,或者增加新的结构层来制作MEMS产品。作为纳米科技的一个分支,MEMS被称为电子产品设计中的“明星”。
MEMS传感器已经存在几十年了,并成功的渗透到一些大规模应用的市场,如医疗压力传感器和安全汽囊加速度计等。尽管取得了这些成功,但MEMS传感器很大程度上还是局限于这些零散的应用。受到汽车电子和消费类电子市场的驱动,这种状况在下一个十年中有望得到改变。
MEMS传感器正在当今的两大热门产品中起到不可或缺的作用。使用测量物理运动从而提供运动感知能力的MEMS加速度计,任天堂公司的Wii无线游戏机允许使用者通过运动和点击互相沟通和在屏幕上处理一些需求,其原理是将运动(例如挥舞胳膊模仿网球球拍的运动)转化为屏幕上的游戏行为。在2006年5月,任天堂和ADI宣布将ADI的ADXL330 iMEMS加速度计整合到任天堂的Wii游戏控制台中。加速度计帮助任天堂把视频游戏提升到一个新的水平。这种产品的全球销售量预计将在2007年底前达到一千万台,任天堂目前正在开足马力...
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